BOSTON PIEZO OPTICS 压电元件 压电陶瓷 表面声波基板 SAW 基板 石英和蓝宝石窗口片和基板 石英和铌酸锂制成的 SAW 基板
从 1994 年开始,BPO 团队是第一个提供非商品晶体石英和铌酸锂 SAW 衬底的团队。这项服务今天仍然可用。
大多数定制 SAW 基板是方形或矩形的,具有客户指定的背面粗糙度。方向通常是唯一的并且受到严格控制。我们开发的石英化学 SAW 抛光剂导致了这种精加工技术的许多其他应用。我们的尺寸仅受您选择的材料和方向的可用性限制。
Boston Piezo-Optics 制造表面声波基板已有 30 多年的历史。SAW 器件因其在延迟线、滤波器和其他 UHF、VHF 和微波器件中的卓越功能特性而受到关注。我们在制造 ST 切割、AT 切割以及任何单旋转或双旋转 Y 切割晶体石英晶片或衬底方面拥有丰富的经验。我们还可以提供旋转的铌酸锂基板,例如 Y-Z 或 128° 旋转 Y 切割。
我们所有的 SAW 衬底均由高质量的单晶石英或铌酸锂制成。所有原材料均以 X 射线为导向并进行光学检查,以确保没有机械缺陷以及电气和光学孪晶。
表面声波片可作为成品基板或坯料提供。成品基材的一个表面经过特殊的化学 SAW 抛光,另一个主要表面经过 3 微米的精细研磨处理。我们还可以为基材提供背面更粗糙的表面处理,以消除模式转换可能导致的任何不必要的干扰。
我们专注于制作非标准设计的基板。我们仅受可用原材料尺寸的限制。
表面声波基板精加工
表面声波精加工技术将机械研磨与化学抛光技术的谨慎应用相结合。它产生均匀光滑的表面,表面错位和次表面损伤最小。
我们的表面波片的抛光表面通常平坦到每英寸 2 个波。表面在 50 倍 Nomarski 检查下无可见的加工缺陷。
一般规格
Material | Standard Orientations | Orientation Tolerances | Dimensional Tolerances |
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Single-crystal Quartz | ST, AT, AC, Y X Length | +/- 15′ +/- 30′ | Length: +/- 0.005″ Width: +/- 0.002″ Thickness: +/- 0.002″ (typical) |
Lithium Niobate | Y-Z Z Length | +/- 15′ +/- 30′ | Length: +/- 0.005″ Width: +/- 0.002″ Thickness: +/- 0.002″ (typical) |