美国 BOSTON PIEZO OPTICS INC 表面声波基板 可定制 提供非商品晶体石英和铌酸锂 SAW 衬底
从 1994 年开始，BPO 团队是第一个提供非商品晶体石英和铌酸锂 SAW 衬底的团队。这项服务今天仍然可用。
大多数定制 SAW 基板是方形或矩形的，具有客户指定的背面粗糙度。方向通常是唯一的并且受到严格控制。我们开发的石英化学 SAW 抛光剂导致了这种精加工技术的许多其他应用。我们的尺寸仅受您选择的材料和方向的可用性限制。
Boston Piezo-Optics 制造表面声波基板已有 30 多年的历史。SAW 器件因其在延迟线、滤波器和其他 UHF、VHF 和微波器件中的卓越功能特性而受到关注。我们在制造 ST 切割、AT 切割以及任何单旋转或双旋转 Y 切割晶体石英晶片或衬底方面拥有丰富的经验。我们还可以提供旋转的铌酸锂基板，例如 Y-Z 或 128° 旋转 Y 切割。
我们所有的 SAW 衬底均由高质量的单晶石英或铌酸锂制成。所有原材料均以 X 射线为导向并进行光学检查，以确保没有机械缺陷以及电气和光学孪晶。
表面声波片可作为成品基板或坯料提供。成品基材的一个表面经过特殊的化学 SAW 抛光，另一个主要表面经过 3 微米的精细研磨处理。我们还可以为基材提供背面更粗糙的表面处理，以消除模式转换可能导致的任何不必要的干扰。
我们专注于制作非标准设计的基板。我们仅受可用原材料尺寸的限制。
表面声波基板精加工
表面声波精加工技术将机械研磨与化学抛光技术的谨慎应用相结合。它产生均匀光滑的表面，表面错位和次表面损伤最小。
我们的表面波片的抛光表面通常平坦到每英寸 2 个波。表面在 50 倍 Nomarski 检查下无可见的加工缺陷。
一般规格
| 材料 | 标准方向 | 方向公差 | 尺寸公差 |
|---|---|---|---|
| 单晶石英 | ST、AT、AC、Y X 长度 | +/- 15 英尺 +/- 30 英尺 | 长度：+/- 0.005 英寸 宽度：+/- 0.002 英寸 厚度：+/- 0.002 英寸 （典型值） |
| 铌酸锂 | Y-Z Z 长度 | +/- 15 英尺 +/- 30 英尺 | 长度：+/- 0.005 英寸 宽度：+/- 0.002 英寸 厚度：+/- 0.002 英寸 （典型值） |
可根据要求提供其他方向和尺寸公差。
材料特性
| 取向 | 速度 （m/sec） | D v/v | 耦合常数 | 功率流角的斜率 | 温度延迟系数 （ppm°C） | 应用 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ST-X 石英 | 3158 | 0.00058 | 0.045 | +0.378 | 0 | 滤波器、延迟线、宽带滤波器 |
| Y-Z 铌酸锂 | 3488 | 0.0241 | 0.045 | 0 | +94 | 滤波器、延迟线、宽带滤波器 |
