进口代理Bluecord WP20300CAX晶圆预对准机,晶圆寻边台,晶圆（平面型和平凹型）进行对准

晶圆预对准机（Wafer Pre-Aligner）
WP20300CAX预对准机可对晶圆（平面型和平凹型）进行对准，其角度重复精度为 ±0.035°，晶圆中心调整重复精度为 ±0.05 mm。
WP20300CAX 可处理直径 最大 300 mm 的晶圆，并兼容 Class 1 级别的洁净室环境。