产品资料对比
| 特性 | Wafer Sorter 200 | Wafer Sorter 300 |
|---|---|---|
| 适用晶圆尺寸 | 200mm (8英寸) | 未在规格中明确，推测为 300mm (12英寸) |
| 设备功能 | 在200mm半导体工艺中，进行晶圆对准(Aligning)和ID读取后，根据配方(Recipe)将晶圆分类(Sorting)到目标位置 | 晶圆分类设备 |
| Load Port (装载端口) | 前端配置 2至4个 (可定制) | 前端配置 2至4个 (可定制) |
| 晶圆传输机器人 | 采用真空吸附或边缘夹持式机械手 | 信息缺失 |
| 核心组件 | – Bluecord 晶圆预对准器(Pre-Aligner) – FFU (风机过滤单元) | – Bluecord 晶圆预对准器(Pre-Aligner) – FFU (风机过滤单元) |
| 操作与维护 | 易于操作和维护 | 信息缺失 |
| 自动化支持 | 支持 OHT (天车) 和 AGV (自动导引车) 对接 | 信息缺失 |
| 用户界面 | 彩色触摸屏 | 信息缺失 |
| 通讯协议 | SECS Ⅰ / SECS Ⅱ / GEM | SECS Ⅰ / SECS Ⅱ / GEM |
| SEMI标准 | 符合 SEMI 标准 | 符合 SEMI 标准 |
补充说明
型号与尺寸：
Wafer Sorter 200明确适用于 200mm (8英寸) 晶圆 ；虽然Wafer Sorter 300的规格描述中未直接提及适用尺寸，但从其命名规则可以推测，该型号主要面向 300mm (12英寸) 晶圆工艺。可定制性：两款型号的 Load Port 数量均为 2至4个 可定制，这为不同产能需求的产线提供了灵活性
核心组件：两款设备都集成了 Bluecord 自研的晶圆预对准器(Pre-Aligner)和FFU，确保了核心技术的自主性和设备性能
通讯与标准：两款设备均支持半导体行业标准的 SECS Ⅰ/Ⅱ/GEM 通讯协议，并符合 SEMI标准，具备良好的系统集成能力和标准化水平
https://www.bihec.com/bluecord/进口代理Bluecord Wafer Sorter 200,Wafer Sorter 300,晶圆分选机200 mm,晶圆分选机（300 mm),130594,130595/