进口代理Bluecord 130601 Aligner晶圆对准器,Bluecord晶圆对准器

SKU:130601 Aligner

该设备由 晶圆图像检测装置（Wafer Image 检测装置） 和 移动装置（θ 轴、X 轴、Z 轴） 等组成，采用高分辨率 Linear CCD Sensor，能够高速处理晶圆边缘及缺口（Notch）的图像数据，从而校正偏心，并将平面（Flat）或缺口（Notch）以任意用户设定角度（User Setting）准确、快速地对准。

规格说明（Specification）

• 最小接触式 Chuck 设计，以减少颗粒污染
• 采用内置滤光器（Inner Filter），支持 Class 1 洁净室并防止污染
• 兼容 6″、8″、12″ 晶圆，具有优异的扩展性
• 最小占地尺寸（Footprint）：248 × 285 × 230 mm
• X、Z、θ 轴模块化设计，便于维护
• 循环时间（Cycle time）：4 秒以内
• **采用微步进驱动器（Micro Stepping Driver）**实现精密位置控制
  • X 轴精度（Precision X）：±0.035 mm
  • θ 轴精度（Precision θ）：±0.035°