晶圆预对准器
Bluecord 晶圆预对准器能够找到晶圆的精确中心，并准确识别其缺口或平边的位置。WP20300C 型号具备传感功能，可自动检测晶圆是否具有缺口或平边。通过采用高速算法和快速 CCD 传感器，该设备能够提供最快的循环时间。
特征
- 支持 6 英寸、8 英寸、12 英寸晶圆的自动模式选择
- 无需预设，预对准器可自动检测晶圆尺寸及晶圆类型
- 提供“双模式操作”，如“高精度 / 高速”模式
- 兼容 Class 1 级洁净室，完全符合 CE 和 SEMI 标准
- 高可靠性与重复定位精度
- 最快的循环时间（高产能）
- 操作简便，安装方便
- 模块化晶圆预对准器，无需外部专用控制器
- 占地面积小，晶圆流转更顺畅
晶圆预对准器规格参数
- 尺寸（宽 × 深 × 高）：248 × 285 × 263 毫米
- 晶圆尺寸：150 ~ 300 毫米（6 英寸 ~ 12 英寸）
- 对准精度：
- 中心定位：±0.035 毫米
- 旋转：±0.05°
- 对准时间：每片晶圆 ≤4 秒
- 公用条件：
- 真空：>400 毫米汞柱
- 输入电源：24V直流 / 6A
- 接口：RS-232C 和 RS-485
尺寸
