德国 Bernhard Halle Nachfl 反射镜 抛光板 IPL5.25 IPL10.40
具有平面或球面的反射镜和板是大多数光学装置的基本部分。镜子用来使光束偏转或聚焦。抛光板可以用作窗户、分束器或标准子。
下面介绍了决定反射镜和反射板质量的一些重要参数。
外形偏差
形状偏差公差定义了实际表面相对于理想形状(平面或球体)的允许差值。在光学中，公差通常以波长λ为单位(例如λ/4)。要将此规格转换为长度单位，必须知道参考波长λref。除非另有说明(d.h. λ/10 entspright 54,6 nm)，本目录中的规格均参考波长为λrefnm。
形状偏差规范的另一个参数是用来评估测量数据的方法。在这方面，极值的差值(峰-谷，PV)和偏差的二次平均(均方根，RMS)是常用的。在计算PV值时，只考虑偏差最大的位置，而RMS值表征了整个表面的平均偏差。这两种值都有其使用动机。除非另有说明，否则在本目录中为PV偏差指定的值。虽然在PV和RMS偏差之间没有一般的关系，但对于实际发生的大多数表面，可以假设RMS偏差比PV值低3-5倍。例如，λ/10 (PV)对应λ/30-λ/50 (RMS)。
本目录中指定的表格偏差至少适用于90%的区域。元素外部尺寸的95%)。如果只使用光圈的一个较小的部分，相应的形状偏差将大大降低。
微粗糙度
微粗糙度描述的是表面与横向尺寸的偏差已达到或更低的波长(i.e. typ. <1µm)。这些偏差主要是造成散射光的原因。
微粗糙度通常由表面偏差的二次平均Rq来表示。车间使用的抛光技术可以得到 Rq <1nm (typ. Rq <0,5 nm).
