美国BIS 离子源 RFIS-100, RFIS-101, RFIS-007, RFIS-010, RFMB-100, RFMB-200、BIS 离子源 、进口代理Beam Imaging Solutions
BIS 离子源 RFIS-100, RFIS-101, RFIS-007, RFIS-010, RFMB-100, RFMB-200
Beam Imaging Solutions (BIS) 推出了全新的 RFIS-100 离子源组件。RFIS-100 设计为可改装到标准型号 G-1 和 G-2 离子枪加速器系统。该离子源通过 13.56 MHz 的射频电源工作，并配备手动调节匹配网络，以产生感应耦合等离子体（ICP）。与标准的 Colutron 热阴极直流放电源相比，射频离子源具有许多优势，包括更长的运行时间和更少的维护，特别是在使用氧气和反应性气体时，此外还能提供更高的束流电流。除了能够从气体中产生离子外，新的离子源还具备通过用金属靶材溅射源气体，在放电室中生成金属离子的额外功能。尚未拥有 Colutron 离子枪的客户可以购买新的离子源，并将其安装到自己的离子加速器系统中。已有 Colutron 离子枪的客户需要将标准的 Colutron DC 离子源及散热组件从离子枪中拆除，然后将射频离子源直接连接到 Colutron 500 型绝缘法兰上。射频离子源不需要 Colutron 散热器即可正常工作。
BIS 离子源 RFIS-100, RFIS-101, RFIS-007, RFIS-010, RFMB-100, RFMB-200规格参数
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 离子源法兰 | 6英寸 (152mm) Conflat |
| 射频电源 | 13.56MHz, 500W |
| 溅射靶材（金属离子，选配） | 200V, 0.5A |
| 射频天线 | 6.5圈，2mm直径铜管，水冷，1/8″ VCR接口 |
| 气体隔离器 | 10kV隔离，1/8″ Swagelok输入 |
| 射频天线导电接头 | 5kV隔离，铜材质，1/8″ VCR接口 |
| 等离子体启动电路 | 12kV隔离接头 |
| 水冷需求 | 1升/分钟（射频天线） |
| 强制空气冷却需求 | 内置风扇的有机玻璃外壳用于高压安全保护。（风扇规格：47 CFM，12VDC，200mA） |
| 射频匹配网络 | 两个真空可调电容（调谐，负载），10-1200 pF，4kV（标称），6kV（最大），75A（手动调谐），最大功率=15kW（@40MHz） |
| RFMB-100 匹配盒输入连接（5个） | 2 X 1/4” Swagelok，水冷，射频天线，1/8” Swagelok，源气体进口，射频Type N公头，BNC公头，溅射靶材供应 |
| 型号 | RFIS-100, RFIS-101, RFIS-007, RFIS-010, RFMB-100, RFMB-200 |
