RF 射频离子源（RF Ion Source）
Beam Imaging Solutions（BIS） 推出全新的 RFIS-100 射频离子源组件。RFIS-100 设计为可直接改装（retrofit）到标准的 G-1 和 G-2 型离子枪加速系统 上。该离子源采用 13.56 MHz 射频电源，并配有手动调谐的匹配网络，以产生感应耦合等离子体（ICP）。
与传统的 Colutron 热阴极直流放电离子源相比，RF 射频离子源具有多项优势，包括：
更长的维护间隔时间，尤其适用于氧气和其他活性气体
更高的束流电流
无需热阴极，运行更加稳定可靠
产品概述
RFIS-100 不仅能够利用气体产生离子，还具备通过溅射方式产生金属离子的能力：在放电腔内利用金属靶材对源气体进行溅射，从而形成金属离子束。
未拥有 Colutron 离子枪的客户，可将 RFIS-100 安装到其自有的离子加速系统上使用。
已拥有 Colutron 离子枪的客户，可拆除原有的 Colutron 直流离子源及散热组件，并将 RF 射频离子源直接安装到 Colutron 500 型绝缘法兰 上。
RF 射频离子源不需要 Colutron 的散热器即可正常工作。
组成
RFIS-101 离子源组件
为了最大限度减少停机时间，可将需要清洗或维护的已使用组件，快速更换为全新的 RFIS-101 组件。RFIS-007 离子源法兰
配有 两个 VCR 水冷穿墙接口，用于 RF 天线
50 Ω BNC 接口，用于可选的溅射靶连接
12 kV 高压穿墙端子，用于电启动电路
RFIS-010 气体隔离器（Gas Isolator）
为防止等离子体与离子源法兰发生短路，采用了专门设计的高压气体隔离结构，可实现 最高 10 kV 的电气隔离。
该隔离器通过 1/8″ Swagelok 接头与 RFIS-007 离子源法兰连接。RFMB-100 MRF 射频匹配盒
内置用于 RF 天线调谐的高电流、高电压真空可变电容
集成气体、水路及电气连接
内含新型高压弧光电源，支持一键按钮式电启动等离子体
RFMB-200 高压安全防护罩
RFIS-100 系统标配有机玻璃（Plexiglas）安全罩，以确保操作人员在高压运行条件下的安全。
防护罩内集成风扇，用于为离子源提供额外冷却。
