Beam Imaging Solutions FC-1法拉第杯

产品概述

Beam Imaging Solutions （BIS） 推出新型磁屏蔽 FC-1 法拉第杯。这种紧凑且易于使用的系统连接到标准的 2.75 英寸（69.8 毫米）平坦端口。FC-1设计用于通过使用磁场滤除可能进入杯中的电子来精确测量来自离子源的初级正离子束电流。电子束可以通过移除滤光片磁铁来测量。对于离子束，法拉第杯收集器略微正偏置，以抑制二次电子发射，并抑制与初级离子束和背景气体原子的电荷交换碰撞产生的低能离子。光束电流是通过连接到 50 欧姆 BNC 真空馈通件的静电计测量的。法拉第杯底部的屏蔽裙可防止静电计测量未通过杯孔进入的电子或离子电流，并防止陶瓷溅射，从而将集电极与地面隔离。法拉第杯也可单独购买，配有 UHV 兼容同轴电缆，适用于需要远程波束电流测量的应用。

电子滤波和二次电子抑制

许多离子束系统将电子源与离子源结合使用，以中和目标处积聚的离子电荷，并最大限度地减少由于离子的空间电荷而导致的离子束扩散。电子也存在于真空室中，来自电离计和离子束与真空系统中组件的表面散射产生的二次电子发射。为了过滤法拉第杯内离子收集器的这些电子，在法拉第杯入口处使用了一对永磁体。这些磁铁在杯子入口处建立磁场，捕获并阻止电子进入杯子。通过对集电极施加小的正偏置，通过与初级离子束碰撞在集电极上产生的二次电子被吸引回集电极。

低能离子滤波

当初级离子与背景气体原子碰撞时，会产生低能离子。在这种非弹性碰撞期间，离子的电荷及其大部分动能被转移到气体原子（电荷交换），使所得离子的动能比原始初级离子少得多。通过将收集器偏置到远小于排斥传入初级离子束所需电位的正电位，低能量电荷交换离子可以在收集器处被抑制并排斥到法拉第杯室的接地壁上。低能离子对总初级离子束电流的贡献通常非常小，但随背景气体压力和法拉第杯到离子源的距离而变化，可能会给真正的初级离子束电流带来显着误差。

• OPT01，法拉第杯，带 UHV 兼容同轴电缆和馈通组件

• OPT02，孔径：客户指定
• OPT03，除尘器：石墨嵌件