模型 | DCIS-100, DCIS-101, DCIS-102, DCIS-103, DCIS-103-2 |
---|---|
Ion Source Flange | 2.75″ Conflat, Model DCIS-102, 5 Terminal with gas input(1/4″) |
Power Supply Requirements | Anode: 250v, 0.5A, Filament: 16V, 20A |
Oven Ion Sources (Temperatures up to 2000C) | Oven Power Supply Requirements: 6V, 12A |
BIS介绍了新的DCIS-100离子源总成。这种离子源属于库仑热阴极放电型,与G-1型和G-2型离子枪系统。这种离子源类似于Colutron氮化硼离子源(100型)的设计,但是由高耐久性的氧化铝陶瓷(Al2O3).与氮化硼源不同,由于氮化硼的吸湿性,DCIS-100的初始除气时间以分钟计,而不是以小时计。氧化铝也比它的氮化硼对应物更具机械耐久性。DCIS-100也比Colutron model 100-Q石英离子源更耐用,并且能够为更高电流的离子束提供更高的温度和阳极放电电流。一种能在放电室中产生轴向磁场的新型库仑型热沉现在已经问世。
离子源作为一个完整的组件(型号-100)提供,包括离子源(型号DCIS-101)、容器法兰(DCIS-102)、气体三通和固体电荷保持器。DCIS-101离子源也可单独购买,可插入标准的Colutron插座法兰。也可提供带烘箱的离子源。烤箱用于蒸发温度高达200摄氏度的固体材料。
Beam Imaging Solutions现在也提供传统的Colutron 100-Q型离子源和备件。许多部件,如灯丝、阳极、接触线和源插座法兰,在传统石英和陶瓷版本之间是可互换的。氮化硼版本的零件也有售。