Beam Imaging新型磁屏蔽FC-1法拉第杯

Beam Imaging介绍了新型磁屏蔽FC-1法拉第杯。这款小巧易用的系统可连接到标准的2.75英寸(69.8毫米)conflat端口。FC-1旨在通过使用磁场过滤掉可能进入杯中的电子来精确测量离子源的初级正离子束电流。可以通过移除过滤磁铁来测量电子束。对于离子束来说,法拉第杯收集器被轻微地正向偏置,以抑制二次电子发射,并且还拒绝由与一次离子束和背景气体原子的电荷交换碰撞产生的低能离子。用连接到50欧姆BNC真空馈通的静电计测量束流。法拉第杯底部的屏蔽裙可防止静电计测量到未通过杯孔进入的电子或离子电流,并防止将收集器与地隔离的陶瓷溅射。法拉第杯也可单独购买,带有UHV兼容同轴电缆,用于需要远程束流测量的应用。

电子滤波和二次电子抑制

许多离子束系统结合离子源使用电子源来中和在靶上积累的离子电荷,并最小化由于离子的空间电荷引起的离子束扩散。电子也存在于真空室中,来自电离真空计和来自离子束与真空系统中部件的表面散射的二次电子发射。为了过滤来自法拉第杯内部离子收集器的这些电子,在法拉第杯入口处使用了一对永久磁铁。这些磁铁在杯子入口建立了一个磁场,捕获并阻止电子进入杯子。通过向收集器施加小的正偏压,通过与一次离子束碰撞而在收集器处产生的二次电子被吸回到收集器。

Faraday Filter

 

低能离子过滤

当一次离子与背景气体原子碰撞时,产生低能离子。在这种非弹性碰撞过程中,离子的电荷和大部分动能被转移到气体原子(电荷交换),留下的合成离子的动能比原来的一次离子少得多。通过将收集器偏置到比排斥进入的一次离子束所需的电势小得多的正电势,低能电荷交换离子可以在收集器处被排斥,并被排斥到法拉第杯室的接地壁。低能离子对总的一次离子束电流的贡献通常非常小,但是随着背景气压和法拉第杯到离子源的距离而变化,并且可能对真实的一次离子束电流引入显著的误差。

Faraday Filter

Aperture0.25″ (6.35mm)
InputMax. 2W continuous
Max Operating Temperature350C
Flange Mount2.75″ (69.8mm) conflat flange mount
Feedthrough50 Ohm, BNC
GroundingFaraday Cup Housing and shield is grounded to conflat flange in standard form
VacuumUHV compatible to 1E-10 torr
模型FC-1/LF Faraday Cup, FC-1 Faraday Cup, FC-1/OPT01 Faraday Cup, FC-1/OPT02 Graphite Insert for Collector, FC-1/OPT03 Flexible Shielded wire assembly
  • OPT01,法拉第杯,带UHV兼容同轴电缆和馈通组件

Faraday Cup

  • OPT02,光圈:客户指定
  • OPT03,收集器:石墨插件

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