美国Beam Imaging Solution BIS 离子源备件

产品概述

Beam Imaging SolutionsBIS 推出新型 DCIS-100 离子源组件。该离子源为 Colutron 热阴极放电类型,与 G-1 型和 G-2 型离子枪系统配合使用。该离子源类似于 Colutron 氮化硼离子源(100 型)设计,但由高度耐用的氧化铝陶瓷 (Al2O3).与氮化硼源不同,DCIS-100 的初始放气时间以分钟为单位,而不是由于氮化硼的吸湿性而以小时为单位。氧化铝的机械耐久性也比氮化硼更高。DCIS-100 也比 Colutron 100-Q 型石英离子源更耐用,并且能够为更高电流的离子束提供更高的温度和阳极放电电流。现在可以在放电室中产生轴向磁场的新型 Colutron 型散热器上市。

离子源可作为完整组件(100 型)提供,带有离子源(DCIS-101 型)、插座法兰 (DCIS-102)、气三通和固体电荷座。DCIS-101 离子源也可单独提供,可插入标准 Colutron 插座法兰。也可提供带柱温箱的离子源。该烘箱用于蒸发高达 2000C 的固体材料。

传统的 Colutron 100-Q 型离子源和备件现在也可从 Beam Imaging Solutions 获得。许多部件,如细丝、阳极、接触线和源插座法兰,都可以在传统的石英和陶瓷版本之间互换。氮化硼版本的零件也可用。

射频离子源

直流离子源(Colutron 型、陶瓷型、Al2O3)

直流离子源(Colutron 型,石英)


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