产品概述
Beam Imaging Solutions 开发了一款新型紧凑型延迟场能量分析仪 （RFEA），现已上市。 新型 RFEA-1 采用准直入射孔径设计，带有 3 个网格。一个网格将用于扫描延迟 voltage，另外两个网格用于 swe eping 网格之前和之后的电子抑制。RFEA-1 安装在标准的 2.75 英寸平法兰上，并具有与我们的 BOS-18 型光束观测系统相似的外部尺寸。真空外壳长 2 英寸（5.1 厘米），有 4 个 MHV 收集器馈通件和三个网格。这种新仪器可用于测量射束能量高达 5keV 的入射离子束的平均能量和能量扩散。
RFEA-1 的爆炸图如左图所示。两个带有 3mm 直径孔的入射孔相距 16.7mm。这些孔径减少了离子以偏离电子束轴的角度进入分析仪时引入的能量扩散误差。第一个和第三个网格用于抑制电子进入分析仪和来自集电极的二次电子发射。中间网格（第二个网格）用于施加扫描电压以延迟入射光束。集电极连接到静电计以测量离子束电流。通过测量离子束电流与扫描电压的关系，可以推断出离子束能量扩散和平均能量。
初步数据
下图所示的数据是使用带有 450 型减速器和 RF-100 离子源的 G-2-D 型离子枪拍摄的。很快将测量 DCIS-100 灯丝源的数据。
RFEA-1 还可用于测量离子源的平均离子能量等离子体电位。等离子体电位只是测得的平均离子束能量与加速电压之间的差值。
