碳化钽(Tantalum Carbide,化学式为TaC)是一种由钽和碳组成的化合物。碳化钽涂层是一种极其坚硬的耐火陶瓷材料,具有金属电导性。碳化钽的熔点取决于其纯度,最高可达到约3880°C,是二元化合物中熔点最高的之一。这使得它成为在高温需求超出CVD硅化碳涂层石墨性能能力时的一个有吸引力的替代品。
碳化钽涂层能够在非常高的温度下抵抗腐蚀性液体和气体的化学攻击。它们在密封和保护石墨硬件免受热氨、氢气、盐酸和用于化合物半导体外延工艺(如MOCVD和LPE)的熔融金属的侵蚀方面越来越受到认可。碳化钽涂层的以下特性提供了长寿命和低颗粒生成。
优势
- 出色的耐磨和耐磨损性能
- 出色的耐腐蚀、氧化和侵蚀性能
- 超纯石墨基材 99.9995%
- 尺寸稳定性
- 耐热震性能
- 非多孔
- 优越的平整度能力
- 均匀性
- 保护性
- 电导性能
- 适用于复杂几何形状
关于贝碳公司(Bay Carbon, Inc.)
贝碳公司是一家领先的独立硅化碳涂层石墨、高纯度精密加工石墨制造商,专注于半导体制造的硅、太阳能硅、CMOS和MOCVD领域。我们提供一整套用于工业和学术界的高纯度实验室石墨和石墨粉产品。