Idonus Sarl Wet Processing Wafer Chuck - WPWC [P1001-033] WPWC150 夹具

Mechanical clamping for small size samples Ring with 4 clamps
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
Mechanical clamping ring for 100mm wafer
size: 100mm
Wet Processing Wafer Chuck - WPWC
For KOH or TMAH or HF etching
Wafer size: 150mm, primary + secondary flat
Wafer thickness: to be defined +/- 80um
Edge exclusion: 5 mm
Backside protected
Ventilation tube 150mm
Sealing rings KOH or TMAH or HF resistant
size to be determined)Wafer - mask vacuum chuck; for wafer size 150mm (exact
size to be determined)

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