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红外显微镜(红外光谱 )
S硅晶片是集成电路(IC)和微电子机械系统(MEMS)制造中必不可少的元件。在红外(IR)范围内看穿这种半导体材料的能力对于制造过程的质量控制是有利的。 伊多努斯红外晶片检验显微镜 (红外光谱)配备了长工作距离物镜。3步变焦允许用户选择合适的视野和放大倍率。红外敏感摄像机在计算机上显示检测样品的图像(通过USB 3.0通信)。分辨率优于5倍物镜的3微米。 此外,还提供顶部照明。这允许显微镜以常规模式使用,并检查晶片的顶面。红外显微镜配有xy工作台,可容纳200毫米(8英寸)或更小的晶片。可选地,xy工作台可以由电机驱动,以便通过图形用户界面(GUI)和/或操纵杆进行控制。图形用户界面(GUI)
Windows操作系统的图形用户界面允许用户使用PC操作显微镜。它实现了对显微镜的完全控制,以及在晶片上用户定义的网格上自动采集图像。应用程序
伊多努斯红外光谱尤其适用于半导体和MEMS器件检测:- 通过透射成像观察硅晶片(即微结构晶片)
- 太阳能电池功率效率的检查
在idonus下观察到的硅MEMS器件红外光谱红外显微镜–该图显示了一张红外显微照片(透射模式)和一张在可见光下观察到的叠加图片(反射模式)。
点击上面的插图可以看到更多用idonus拍摄的显微照片红外光谱晶圆检验显微镜。
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