美国Advanced Photonics Inc气体净化器 Model C-6000 准分子激光气体净化器,对于多气体准分子激光器 API进口代理

Model C-6000

准分子激光气体净化器

Excimer Laser Gas Purifiers

For Multigas Excimer Lasers 对于多气体准分子激光器

C-6000与所有准分子激光器和激光气体类型兼容,具有自动控制和易于更换气体的特点。C-6000提供了卓越的性能结果。C-6000可以配置为特殊应用,如高压范围和高流量要求。自动LN2补充可以作为一个额外的选择。
粒子过滤 < 0.1 microns; > 99.95% retention
工作温度 77 K到150 K。
气体循环流速 30标准升/分钟
气体压力范围 1至5巴(绝对压力)
净液氮容量 13.6升
规模 22英寸高x 19英寸宽x 22英寸深

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