美国Kimball Physics,电子枪系统,中等能量（最大 30 keV),EGL-2022 / EGPS-2022

美国Kimball Physics,电子枪系统,中等能量（最大 30 keV),EGL-2022 / EGPS-2022 Kimball Physics 是电子枪（束）系统的领先供应商，其设计适用于各种超高真空（UHV）表面物理、空间物理和加工应用。喷枪可以聚焦小光斑尺寸，用于 X 射线生产、焊接和 RHED 等应用;或用于泛光束，用于电荷中和、电子束擦洗、空间模拟和辐射损伤研究。

操作范围

能量范围：1 eV 至 100 keV
光束电流范围：1 nA 至 20 mA
光斑尺寸范围：15 μm（聚焦柱）至 500+ mm（泛光光束）

性能

束流稳定性：反馈稳定发射电流控制;优于每小时 ± 0.1%
能量稳定性：±每小时 0.01%，全输出时每 8 小时± 0.02%，以最大限度地减少色差

方便

客户可更换的点火装置
全运行期间的机械对中
可存储控件设置
电脑遥控器/计量

运营能力

快速脉冲/光束消隐
偏转 / 光栅
枪式法拉第杯

描述

能量扫描：恒定束流和近似恒定光斑尺寸的电子束 50 eV 至 5 keV 应用：

表面物理研究
电离实验
电荷中和

功能/选项：

能量范围广
Constant Beam Current
恒定光斑大小
变焦镜头对焦
高速脉冲
偏转、栅格化
电脑 / 遥控器

能量范围：50 eV 至 5 keV 光束电流：1 nA 至 100 μA 光斑尺寸：1 mm 至 10 mm 安装：2.75“CF 特点/选项：用于能量扫描、偏转、光栅、高速脉冲的变焦镜头聚焦 Kimball Physics EGL-2022 电子枪及其配套的 EGPS-2022 电源可应用于各种表面物理、电离、电荷中和和其他真空物理研究。它是一个完整的子系统，随时可以连接到用户的真空系统并启动。光束能量、光束电流和光斑尺寸可在很宽的范围内独立调节。能量从 50 eV 到 5 keV 不等，束流从 1 nA 到 100 μA。通过使用多级和计算机设计的电子变焦镜头，在能量的两个数量级变化上保持恒定的束流，光斑尺寸也大致恒定。电子枪使用单电位阴极产生低能量扩散光束。枪设计可以包括一个正偏置的加速度网格，以增强发射和准直光束。通常对此网格单元施加负电位，以准直光束、抑制发射并切断光束。全程采用 UHV 技术。该喷枪可以在 10 级真空中运行^-11torr 最多 10^-5torr 用于标准 Ta 盘阴极。电子枪可在 350°C 下工作，无需电缆。通过打开上方“资源”选项卡中的详细 EGL-2022/EGPS-2022 PDF 规范文档了解更多信息。