德国Bernhard Halle Nachfl GmbH 反射镜和抛光板 反射镜 球面凹面镜基板 SHD4.020 SHZ1.020
反射镜和抛光板
具有平面或球面的反射镜和板是大多数光学装置的基本部分。镜子用来使光束偏转或聚焦。抛光板可以用作窗户、分束器或标准子。
下面介绍了决定反射镜和反射板质量的一些重要参数。
外形偏差
形状偏差公差定义了实际表面相对于理想形状(平面或球体)的允许差值。在光学中，公差通常以波长λ为单位(例如λ/4)。要将此规格转换为长度单位，必须知道参考波长λref。除非另有说明(d.h. λ/10 entspright 54,6 nm)，本目录中的规格均参考波长为λrefnm。
形状偏差规范的另一个参数是用来评估测量数据的方法。在这方面，极值的差值(峰-谷，PV)和偏差的二次平均(均方根，RMS)是常用的。在计算PV值时，只考虑偏差最大的位置，而RMS值表征了整个表面的平均偏差。这两种值都有其使用动机。除非另有说明，否则在本目录中为PV偏差指定的值。虽然在PV和RMS偏差之间没有一般的关系，但对于实际发生的大多数表面，可以假设RMS偏差比PV值低3-5倍。例如，λ/10 (PV)对应λ/30-λ/50 (RMS)。
本目录中指定的表格偏差至少适用于90%的区域。元素外部尺寸的95%)。如果只使用光圈的一个较小的部分，相应的形状偏差将大大降低。
微粗糙度
微粗糙度描述的是表面与横向尺寸的偏差已达到或更低的波长(i.e. typ. <1µm)。这些偏差主要是造成散射光的原因。
微粗糙度通常由表面偏差的二次平均Rq来表示。我们车间使用的抛光技术可以得到 R
q <1nm (typ. R
q <0,5 nm).
球面凹面镜基板
基板用于制造凹面镜。
我们提供硼硅酸盐玻璃(Duran)或玻璃陶瓷(Zerodur)基板。Duran是更经济的版本，其表面偏差为λ/4和λ/10。Zerodur具有较低的热膨胀系数，这使得该材料适用于表面偏差更低的反射镜(λ/10和λ/20)。
凹面镜的价格适用于1:10到1:3的孔径比(直径比焦距)。可行的焦距由可用的半径工具确定。
基材本身不涂覆。要用作高反射镜，必须涂上适合所需波长范围的涂层。
球面凹面镜基板产品规格
| material |
Duran |
Zerodur |
| flatness |
<λ/4 othe <λ/10 |
<λ/10 othe <λ/20 |
| coefficient of thermal expansion |
3·10-6/K |
<0,15·10-6/K |
| rear and edge surface |
fine ground (opaque) |
fine ground (opaque) |
球面凹面镜基板标准尺寸
| Diameter mm |
thickness mm |
Art. No. λ/4 Duran |
Art. No. λ/10 Duran |
Art. No. λ/10 Zerodur |
Art. No. λ/20 Zerodur |
| 10 |
2 |
SHD 4.010 |
SHD 1.010 |
SHZ 1.010 |
SHZ 2.010 |
| 20 |
3 |
SHD 4.020 |
SHD 1.020 |
SHZ 1.020 |
SHZ 2.020 |
| 25 |
4 |
SHD 4.025 |
SHD 1.025 |
SHZ 1.025 |
SHZ 2.025 |
| 30 |
4 |
SHD 4.030 |
SHD 1.030 |
SHZ 1.030 |
SHZ 2.030 |
| 40 |
5 |
SHD 4.040 |
SHD 1.040 |
SHZ 1.040 |
SHZ 2.040 |
| 50 |
7 |
SHD 4.050 |
SHD 1.050 |
SHZ 1.050 |
SHZ 2.050 |
| 60 |
8 |
SHD 4.060 |
SHD 1.060 |
SHZ 1.060 |
SHZ 2.060 |
| 70 |
10 |
SHD 4.070 |
SHD 1.070 |
SHZ 1.070 |
SHZ 2.070 |
| 80 |
12 |
SHD 4.080 |
SHD 1.080 |
SHZ 1.080 |
SHZ 2.080 |
| 100 |
15 |
SHD 4.100 |
SHD 1.100 |
SHZ 1.100 |
SHZ 2.100 |
| 120 |
16 |
SHD 4.120 |
SHD 1.120 |
SHZ 1.120 |
SHZ 2.120 |
| 150 |
20 |
SHD 4.150 |
SHD 1.150 |
SHZ 1.150 |
SHZ 2.150 |
| 180 |
24 |
SHD 4.180 |
SHD 1.180 |
SHZ 1.180 |
SHZ 2.180 |
| 200 |
27 |
SHD 4.200 |
SHD 1.200 |
SHZ 1.200 |
SHZ 2.200 |
| 250 |
33 |
SHD 4.250 |
SHD 1.250 |
SHZ 1.250 |
SHZ 2.250 |
Duran曲面偏差λ/4产品编码
SHD 4.020
SHD 4.025
SHD 4.030
SHD 4.040
SHD 4.050
SHD 4.060
SHD 4.070
SHD 4.080
SHD 4.100
SHD 4.120
SHD 4.150
SHD 4.180
SHD 4.200
SHD 4.250
Duran曲面偏差λ/10产品编码
SHD 1.020
SHD 1.025
SHD 1.030
SHD 1.040
SHD 1.050
SHD 1.060
SHD 1.070
SHD 1.080
SHD 1.100
SHD 1.120
SHD 1.150
SHD 1.180
SHD 1.200
SHD 1.250
Zerodur表面偏差λ/10产品编码
SHZ 1.020
SHZ 1.025
SHZ 1.030
SHZ 1.040
SHZ 1.050
SHZ 1.060
SHZ 1.070
SHZ 1.080
SHZ 1.100
SHZ 1.120
SHZ 1.150
SHZ 1.180
SHZ 1.200
SHZ 1.250
Zerodur表面偏差λ/20产品编码
SHZ 2.020
SHZ 2.025
SHZ 2.030
SHZ 2.040
SHZ 2.050
SHZ 2.060
SHZ 2.070
SHZ 2.080
SHZ 2.100
SHZ 2.120
SHZ 2.150
SHZ 2.180
SHZ 2.200
SHZ 2.250
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