关于LS系列线性位移台
LS线性位移台采用闭环直流伺服电机与高分辨率旋转编码器构成位置反馈系统，可实现亚微米级精确定位。用户可选配线性编码器以进一步提升定位精度。
该系列位移台采用交叉滚柱导轨、精密丝杠及无间隙微型齿轮直流伺服电机，确保运动平稳精准。行程范围覆盖50毫米至300毫米（2英寸至12英寸），支持单台使用或多台组合（垂直/水平堆叠），最大负载能力达4.5公斤（10磅）。
设备内置限位开关，并提供多种丝杠选项（详见下表）。搭配ASI MS-2000控制系统时，标准旋转编码器配置可实现50-100纳米分辨率，重复定位精度达300纳米RMS以内。
选配线性编码器后：
・刻度分辨率：10纳米
・尺度精度：每段刻度±3微米
MS-2000控制器具备自动反向间隙补偿功能，支持工业标准指令集，可通过RS-232或USB接口与主机通信。
LS-Series Linear Stage Specifications
| Specifications | LS-25 | LS-50 | LS-100 | LS-200 | LS-400 |
| Encoder resolution* | 5.0 nm | 5.5 nm | 5.5 nm | 5.5 nm | 5.5 nm (.0055 µm†) |
| With linear encoder | 10 nm | 10 nm | 10 nm | 10 nm | 10 nm |
| RMS repeatability (typical)* | < 0.7 μm | < 0.7 μm | < 0.7 μm | < 0.7 μm | < 0.7 μm (< 8.0 μm†) |
| With linear encoder (typical) | 200 nm | 200 nm | 200 nm | 200 nm | 200 nm |
| Lead screw accuracy | 0.25 μm/mm | 0.25 μm/mm | 0.25 μm/mm | 0.25 μm/mm | 0.25 μm/mm |
| With linear encoder | ± 3 μm/length scale | ± 3 μm/length scale | ± 3 μm/length scale | ± 3 μm/length scale | ± 3 μm/length scale |
| Maximum velocity* | 1.60 mm/s | 1.75 mm/s | 1.75 mm/s | 1.75 mm/s | 1.75 mm/s |
| Range of travel | 25 mm (1”) | 50 mm (2”) | 100 mm (4”) | 200 mm (8”) | 400 mm (16”) |
| Length | 86 mm (3.4”) | 152.5 mm (6”) | 203.5 mm (8”) | 305 mm (12”) | 594.5 mm (23.4”) |
| With connector** | 137 mm (5.4”) | 233 mm (9.2”) | 286 mm (11.3”) | 369 mm (14.5”) | 675 mm (26.6”) |
| With RA connector** | —– | 195 mm (7.6”) | 247 mm (9.7”) | 380 mm (15”) | 363 mm (25”) |
| Width | 68.5 mm (2.7”) | 68.5 mm (2.7”) | 68.5 mm (2.7”) | 68.5 mm (2.7”) | 150 mm (5.9”) |
| With connector** | 120 mm (4.7”) | 132.5 mm (5.2”) | 132.5 mm (5.2”) | 132.5 mm (5.2”) | 215 mm (8.5”) |
| With RA connector** | —– | 93.5 mm (3.7”) | 93.5 mm (3.7”) | 93.5 mm (3.7”) | 175 mm (6.9”) |
| Height | 35.5 mm (1.4”) | 30 mm (1.2”) | 30 mm (1.2”) | 30 mm (1.2”) | 50 mm (2”) |
| Weight | 0.5 kg (1 lb) | 1.4 kg (3 lb) | 1.9 kg (4 lb) | 2.4 kg (6 lb) | 9 kg (20 lb) |
