关于MS-8000载物台
MS-8000载物台专配大型工业检测显微镜（如尼康L200/300系列或奥林巴斯MX51/61系列）设计。其开放式结构支持透射光照明系统，可配置玻璃板插片或多种大尺寸台面配件，包括用于半导体检测的真空晶圆吸盘。
该直流伺服电机载物台兼容两类驱动方案：小型精密防反向间隙齿轮电机，或可实现更高转速的直齿轮电机。系统同时支持选配高精度线性编码器，以满足不同场景的定位精度需求。
MS-2000 Specifications for Standard Configuration
| X- and Y-axis range of travel | 200 mm x 200 mm |
| X- and Y-axis resolution (encoder step) | 22 nm |
| X- and Y-axis RMS repeatability | < 700 nm |
| X- and Y-axis maximum velocity | 7 mm/s |
| Max recommended load (*higher loads available upon request) | 5 kg |
MS-8000产品特点
采用闭环直流伺服控制，实现精确定位与高度可重复的聚焦功能
配备XY摇杆控制器，具备宽动态调速范围
已通过多款主流专业软件的兼容性验证，确保稳定协同运作
