MS-8000载物台适用于大型工业检测显微镜，如Nikon L200/300系列或Olympus MX51/61系列。开放式框架允许透射光照明。载物台可配备玻璃板插入物或各种大型载物台插入物，包括用于半导体检测的真空晶片卡盘。
DC伺服电机阶段兼容小精密消隙齿轮头电机或更大的正头电机，速度更快。该平台还兼容可选的高精度线性编码器。
特征：
MS-8000功能
- 闭环DC伺服控制，实现精确定位和高度可重复聚焦
- XY操纵杆控制的宽动态速度范围
- 许多流行软件包的成熟操作
规范：
标准配置的MS-2000规格
| x轴和Y轴行程范围 | 200毫米x 200毫米 |
| x轴和Y轴分辨率(编码器步长) | 22纳米 |
| x轴和Y轴均方根重复性 | < 700 nm |
| x轴和Y轴最大速度 | 7毫米/秒 |
| 最大推荐负载 (*根据要求可提供更高的负载) | 5公斤 |
*所示为6.35毫米螺距的丝杠
MS-8000线性编码器选项：
| 轴 | 分辨率 | 精度 |
| XY | 10纳米 | 每标尺长度3微米 |
Applied Scientific Instrumentation,ASI,MS-8000 XY,自动化平台
