美国 ARC 汞灯 Advanced Radiation Corporation HSA500E-30117
特点:
- 光谱特性匹配光致抗蚀剂材料
- 经过特殊处理的电极，以确保电弧稳定性
- 改进处理以延长灯寿命和辐射输出
- 新的装配技术，以加强结构并提高机械可靠性
Advanced Radiation Corporations的系列直流汞短弧灯代表了高强度紫外线光源设计、制造和性能方面的最新技术。这些灯提供了与大多数现有光致抗蚀剂材料的感光度相对应的强烈辐射;这些灯满足了当今精密电子行业集成电路经济生产所需的弧稳定性和长寿命要求。
短弧灯的点光源配置使这一系列灯具非常适合于光化学、荧光显微镜、微胶片放大光学仪器和其他需要高强度紫外辐射的应用。
汞短弧灯是高强度辐射源，具有理想的收集光谱发射的光学配置。短弧灯由一个球形或椭球形石英灯泡组成，其中两个钨电极(阳极和阴极)定位在灯泡中，使它们的尖端之间形成非常短的空间;在操作过程中，这个空间充满高压的汞蒸汽“等离子体”其温度与太阳表面温度(约6000°C)大致相同。这种高温电弧等离子体产生汞的强烈辐射特性;汞短弧灯的典型光谱辐射分布如图所示。
水星短弧灯型号 HSA-1000FC
光谱亮度
电弧等离子体的强度在电弧空间或电极分离处并不均匀，而是在阴极(负极)的尖端更为集中，在电弧空间内逐渐减小，在阳极(正极)尖端仅达到最大值的约10%至15%。左图显示了典型的“电弧空间”内的强度分布。
可选型号：HSA100HP-30019/HSA200DC-30020/HSA200KLA-30042/HSA200UTS-30144/HSA250-30096/HSA350SB-30023/HSA350TAM-30114
可选型号：HSA350OF-30125/HSA450GCA-30059/HSA500E-30117/HSA500OF-30146/HSA750OPT-30168/HSA1000CEN-30061
