美国 ARC 汞灯 Advanced Radiation Corporation 用于光刻的汞短弧灯
特点
- 光谱特性匹配光致抗蚀材料
- 经过特殊处理的电极，以确保电弧稳定性
- 改进处理以延长灯寿命和辐射输出
- 新的装配技术，以加强结构并提高机械可靠性
ADVANCED RADIATION CORPORATIONS为光致抗蚀剂设计的系列直流汞短弧灯代表了高强度紫外线光源的设计、制造和性能方面的最新技术。这些灯提供了与大多数现有光致抗蚀剂材料的感光度相对应的强烈辐射;这些灯满足了当今精密电子行业集成电路经济生产所需的弧稳定性和长寿命要求。
短弧灯的点源配置使这一系列灯非常适合光化学、荧光显微镜、微胶片放大、光学仪器和其他需要高强度紫外辐射的应用。
HSA-350型汞短弧灯光谱辐射
汞短弧灯物理尺寸
可选 HSA-200DC/HSA-350/HSA-500/HSA-200CB/HSA-200TAM/HSA-350TAM
