美国Applied Scientific Instrumentation LS-25亚微米级精度线性滑台
Applied Scientific Instrumentation LS线性滑台提供亚微米级精度,通过使用闭环直流伺服电机并采用高分辨率旋转编码器进行位置反馈来实现精确控制。 可选的线性编码器可以添加到设备上,以提供更高的位置精度。
Applied Scientific Instrumentation这些滑台使用交叉滚柱滑轨、精密螺杆和零背隙微型齿轮直流伺服电机,以实现平滑和精确的运动。这些装置提供50毫米到300毫米(2英寸到12英寸)的精确行程。它们可以单独使用或堆叠,垂直或水平使用,并且可以承受高达4.5公斤(10磅)的负载。
这些装置具有内置限位开关,并且可以根据下表中的选项配置多种丝杠。在标准旋转编码器配置和使用ASI的MS-2000控制电子设备的情况下,可以获得50-100纳米范围内的分辨率。重复性因素小于300纳米RMS也是可以实现的。
可选的线性编码器提供每刻度10纳米的分辨率,并且每单位长度的刻度精度为± 3微米。
Applied Scientific Instrumentation MS-2000控制器提供自动反冲修正,接受行业标准命令,并接受来自主机计算机的RS-232或USB通信。
Applied Scientific Instrumentation API LS系列线性滑台规格:
| 规格 | LS-25 | LS-50 | LS-100 | LS-200 | LS-400 |
| 编码器分辨率* | 5.0 纳米 | 5.5 纳米 | 5.5 纳米 | 5.5 纳米 | 5.5 纳米 (.0055 微米†) |
| 使用线性编码器 | 10 纳米 | 10 纳米 | 10 纳米 | 10 纳米 | 10 纳米 |
| RMS重复性(典型值)* | < 0.7 μm | < 0.7 μm | < 0.7 μm | < 0.7 μm | < 0.7 微米 (< 8.0 微米†) |
| 带线性编码器(典型) | 200 纳米 | 200 纳米 | 200 纳米 | 200 纳米 | 200 纳米 |
| 丝杠精度 | 0.25 微米/毫米 | 0.25 微米/毫米 | 0.25 微米/毫米 | 0.25 微米/毫米 | 0.25 微米/毫米 |
| 使用线性编码器 | ± 3 μm/长度尺度 | ± 3 μm/长度尺度 | ± 3 μm/长度尺度 | ± 3 μm/长度尺度 | ± 3 μm/长度尺度 |
| 最大速度* | 1.60 毫米/秒 | 1.75 毫米/秒 | 1.75 毫米/秒 | 1.75 毫米/秒 | 1.75 毫米/秒 |
| 行程范围 | 25 毫米 (1″) | 50 毫米 (2″) | 100 毫米 (4″) | 200 毫米 (8″) | 400 毫米 (16″) |
| 长度 | 86 毫米 (3.4英寸) | 152.5 毫米 (6英寸) | 203.5 毫米 (8英寸) | 305 毫米 (12 英寸) | 594.5 毫米 (23.4英寸) |
| 带连接器** | 137 毫米 (5.4英寸) | 233 毫米 (9.2英寸) | 286 毫米 (11.3英寸) | 369 毫米 (14.5英寸) | 675 毫米 (26.6″) |
| 带RA连接器** | —— | 195 毫米 (7.6″) | 247 毫米 (9.7英寸) | 380 毫米 (15英寸) | 363 毫米 (25英寸) |
| 宽度 | 68.5 毫米 (2.7英寸) | 68.5 毫米 (2.7英寸) | 68.5 毫米 (2.7英寸) | 68.5 毫米 (2.7英寸) | 150 毫米 (5.9英寸) |
| 带连接器** | 120 毫米 (4.7英寸) | 132.5 毫米 (5.2英寸) | 132.5 毫米 (5.2英寸) | 132.5 毫米 (5.2英寸) | 215 毫米 (8.5”) |
| 带RA连接器** | —— | 93.5 毫米 (3.7英寸) | 93.5 毫米 (3.7英寸) | 93.5 毫米 (3.7英寸) | 175 毫米 (6.9英寸) |
| 高度 | 35.5 毫米 (1.4英寸) | 30 毫米 (1.2”) | 30 毫米 (1.2”) | 30 毫米 (1.2″) | 50 毫米 (2“) |
| 重量 | 0.5 公斤(1 磅) | 1.4 公斤(3 磅) | 1.9 公斤(4 磅) | 2.4 公斤 (6 磅) | 9 公斤(20 磅) |
Applied Scientific Instrumentation LS系列线性滑台丝杠选项
| 丝杠螺距选项 | 旋转编码器分辨率 | 最高速度 |
| 25.40 毫米(超粗) | 88 纳米 | 28 毫米/秒 |
| 12.70 毫米(超粗) | 44 纳米 | 14 毫米/秒 |
| 6.35 毫米(标准) | 22 纳米 | 7 毫米/秒 |
| 1.59 毫米(细) | 5.5 纳米 | 1.75 毫米/秒 |
| 0.635 毫米(超细) | 2.2 纳米 | 0.7 毫米/秒 |

