Applied Physics Technologies Zirconiated Tungsten (ZrOW) Thermal Field Emitters (TFE) 锆钨(ZrOW)热场发射体(TFE)
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热场发射器(
TFE)与热离子发射器一样需要加热,但也会经过电化学蚀刻,形成微观上尖锐的尖端,这一点与冷场发射器类似。由于发射器的尖锐度及其在工作过程中相对于抑制极的取向,会在源极尖端产生非常高的电场。电场对势垒的降低作用,以及通过加热为电子提供的热能,使得这种源能够在非交叉模式(或虚拟源模式)下工作。因此,与热离子发射器不同,热场发射器不受空间电荷限制,其亮度比典型的热
离子源高出好几个数量级。
APT 现在提供掺
锆钨热场发射器(
ZrOW TFE),俗称
肖特基源。ZrOW TFE 是电子束应用领域的行业标准发射器,
适用于需要高亮度、更高空间分辨率、稳定发射和长寿命的场景。我们的 ZrOW 源符合一般原始设备制造商(OEM)的性能规格和操作参数,并且可以制造出具有定制化末端形状(半径)几何结构以及任何发射器底座 / 抑制极配置的产品,包括 FEI / 飞利浦、Denka、日立、JEOL 或定制配置。