应用物理技术公司是林菲尔德研究所（LRI）数十年热离子和场致发射研究的成果。鉴于对技术先进的电子发射器件的需求日益增长，LRI 的研究人员威廉・麦基博士和加里・凯布于 1995 年创立了这家公司，最初的办公地点是一个用于加工麦基博士养蜂场所产蜂蜜的附属建筑。由于来自工业、政府和学术领域客户的需求不断增加，应用物理技术公司于 1999 年迁至目前这座 10,000 平方英尺的制造工厂。2001 年，应用物理技术公司从 FEI 公司收购了其硼化物生产线。日立高新技术公司认识到应用物理技术公司的技术和制造能力的价值，于 2019 年收购了该公司。2021 年，应用物理技术公司在俄勒冈州希尔斯伯勒扩建了应用物理技术实验室，这是一个 10,000 平方英尺的设施，专门用于研究和新产品开发。
