美国 AP TECH,锆钨(ZrOW),热场发射器(TFE),锆钨热场发射阴极,锆化钨热场发射器,肖特基源,ZrO/W 阴极,热场发射电子源,高亮度电子源,SEM 场发射阴极,电子束光刻发射源,半导体检测电子枪阴极,真空热场发射体,ZrO/W 发射极,高稳定电子发射源,扫描电镜电子源,CD-SEM 阴极,高端电子束设备核心阴极,半导体量测设备

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锆钨ZrOW)热场发射器(TFE

TFE像热电子发射器一样是加热的,但也经过电化学蚀刻,具有显微镜下极为锋利的尖端,类似于冷场发射器。由于发射极为锋利且在工作时与消音器的朝向,源端会产生非常高的电场。

斯科蒂在supressor.png

APT在热场发射中的优势

特色:

  • 我们提供锆化钨热场发射器(ZrOW TFE),称为肖特基源。ZrOW TFE是行业标准的电子束发射体,适用于要求高亮度、提升空间分辨率、稳定发射和长寿命的电子束应用

  • 我们的ZrOW源满足一般OEM性能规格和操作参数,可采用定制端形(半径)几何形状及任何发射基座/消音器配置,包括FEI/飞利浦、电卡、日立、JEOL,或定制配置。


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