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锆钨(ZrOW)热场发射器(TFE)
Zirconiated Tungsten (ZrOW) Thermal Field Emitters (TFE)
热场发射体(TFE)像热离子发射体一样被加热,但也经过电化学蚀刻,具有微观上尖锐的尖端,类似于冷场发射体。由于发射体的锐度和它在操作期间对抑制器的定向,在源尖端产生非常高的电场。通过电场降低势垒和通过加热提供给电子的热能产生了能够在非交叉模式(或虚源模式)下工作的源。因此,与热离子发射器不同,TFE不受空间电荷限制,并且比典型的热离子源亮几个数量级。
APT现在提供锆钨热场发射器(ZrOW TFE),俗称肖特基源。ZrOW TFE是电子束应用的行业标准发射器,要求高亮度、高空间分辨率、稳定发射和长寿命。我们的ZrOW源符合一般OEM性能规格和操作参数,可制造定制的末端形状(半径)几何形状和任何发射极基极/抑制器配置,包括FEI/Philips、Denka、Hitachi、JEOL或定制配置。
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