美国Applied Physics Technologies 冷场发射器 (CFE)

冷场发射器 (CFE)

与热离子和热场发射器不同,CFE 在室温下工作。当响应强电场的应用而发射电子时,就会发生场发射。为了实现这个高场,单晶钨被蚀刻到显微镜下锋利的尖端。CFE 是非常高亮度的光源,因此在需要高电流密度和可实现极高真空条件的应用中表现出色。

在 APT,我们在内部种植和加工自己的单晶钨。我们的蚀刻工艺可以根据客户的要求进行定制,并受到严格控制以保证质量和一致性。APT 可以为 CFE 提供任何发射极基座/抑制器配置,包括 FEI/Philips、Denka、Hitachi、JEOL 和定制配置。

使用此图表可比较我们的 TE、CFE 和 TFE 离子源的一般操作要求和性能规格:


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