美国Angstrom Sciences,圆形磁控管,特高压溅射, UHV 磁控管设计,全金属密封件m陶瓷绝缘体,可拆卸磁体阵列,目标直径为 1 英寸(25 毫米)至 16 英寸(400 毫米),与标准 ONYX 高真空阴极中的所有附件、磁铁组和功能兼容
圆形磁控管
Angstrom Sciences 的圆形磁控管已成为溅射行业的标准,因为它具有 Angstrom 优势™和许多其他设计功能,在配置和工艺性能方面提供了几乎无限的可能性。
多功能、紧凑的设计
其紧凑的设计使我们的圆形磁控管成为任何新应用或改造应用的理想选择,包括用于最小真空室的最复杂的集群组件。
特高压溅射
Angstrom Sciences 提供全系列的 UHV 磁控管设计,包括我们的“ONYX-UHV”,它具有全金属密封件、陶瓷绝缘体和可拆卸磁体阵列。全焊接结构允许烘烤至 450ºC。“ONYX-UHV”圆形的目标直径为 1 英寸(25 毫米)至 16 英寸(400 毫米),与标准 ONYX 高真空阴极中的所有附件、磁铁组和功能兼容。ONYX-UHV 线性阴极还提供定制目标尺寸,以满足任何应用要求。还提供“ONYX-HT”(标准 ONYX 阴极的高温变体,全陶瓷绝缘体,用于高温作,提供“接近”特高压性能)
这些磁控管与直流、射频、脉冲直流和 HiPIMS 电源兼容。还提供全方位的选项,包括插入长度、百叶窗、气体入口和交叉污染防护罩。


