美国Angstrom Sciences,ONYX® 磁控管,圆磁控管,UHV 溅射
Angstrom Sciences， Inc. 成立于 1988 年，为高质量薄膜的等离子体气相沉积提供先进的磁控管和精制材料。该公司非常注重研发，很快就为磁性、水冷和圆形磁控管目标夹紧设计方面的多项技术进步申请了专利。Angstrom Advantage™ 的特点创造了薄膜行业中最先进、最易于使用的磁控管。
UHV 溅射
Angstrom Sciences 提供全系列的 UHV 磁控管设计，包括我们的“ONYX-UHV”，它具有全金属密封件、陶瓷绝缘体和可拆卸磁阵列。全焊接结构允许在 450ºC 下烘烤。“ONYX-UHV”圆形靶材直径为 1 英寸（25 毫米）至 16 英寸（400 毫米），与标准 ONYX 高真空阴极中的所有附件、磁铁组和功能兼容。ONYX-UHV 线性阴极还提供定制目标尺寸，以满足任何应用要求。还提供“ONYX-HT”（标准 ONYX 阴极的高温变体，带有全陶瓷绝缘体，用于高温运行，提供“接近”-UHV 性能）。
- 描述
这些磁控管与 DC、RF、脉冲 DC 和 HiPIMS 电源兼容。还提供全系列选项，包括插入长度、挡板、气体入口和交叉污染防护罩。
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