美国Angstrom圆柱形磁控管, Angstrom磁控管

美国Angstrom圆柱形磁控管
美国Angstrom为各类标准溅射工艺提供先进磁控管解决方案,但美国Angstrom深知每个应用场景都有其独特性。为此,美国Angstrom开发了独特的模块化设计理念,可精准适配您的定制化需求。

圆柱形磁控管长期以来在玻璃镀膜行业备受信赖,以其卓越的薄膜均匀性和靶材利用率著称。如今,美国Angstrom进一步推出了紧凑型、轻量化且经济高效的圆柱形磁控管,专为平板显示、太阳能电池及卷对卷镀膜领域提供同等优势性能。

定制化设计
美国Angstrom提供完整的插入式与侧装式组件方案,采用3英寸(75毫米)或5英寸(125毫米)背管直径,长度可达四米。通过最小化源间距的多源线性阵列配置,可满足紧凑型高产系统的集成需求。

Cylindrical Magnetron Side Mount Angstrom

经济高效的全兼容投资
ONYX-Revolution™采用通用且高性价比的磁体设计,搭配定制化转向结构以适配各类靶材。其标准化组件设计更实现了低成本、长期可靠的设备投资。

专利技术
美国Angstrom的专利梯度磁场技术,可在溅射源与基材之间形成更接近法线方向的沉积分布。优化的沉积分布能有效减少腔壁上的杂质积累。此外,增强的磁场强度使用户能在更低功率下运行溅射工艺,同时保持典型沉积速率。

Cylindrical Magnetron Testing Angstrom

可量化的成本节约
圆柱形磁控管在相同空间内可容纳的靶材量可达平面磁控管的三倍。美国AngstromONYX-Revolution™进一步将靶材利用率提升至85%。配合低功率运行模式,通常可实现约20%的能耗节约。

全面承诺
美国Angstrom致力于通过提供全球领先的磁控管高质量镀膜材料及全方位技术支持,助力客户开发最高效、最具成本效益的薄膜应用方案。我们始终以保障客户满意度为宗旨。


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