美国Angstrom Sciences,间接冷却磁控管,在圆形阴极的冷却水和溅射靶材之间形成中间壁,防止目标被“溅射”时可能发生的泄漏,1“-4” (25mm-100mm) 间接冷却圆形磁控管包含螺纹靶材夹具和阳极屏蔽层
间接冷却磁控管
间接冷却磁控管在圆形阴极的冷却水和溅射靶材之间形成中间壁。该壁形成永久的水真空密封,防止目标被“溅射”时可能发生的泄漏。
Angstrom Sciences 的 1“-4” (25mm-100mm) 间接冷却圆形磁控管包含螺纹靶材夹具和阳极屏蔽层,可根据不同厚度的溅射靶材进行调整。螺纹设计上的目标更改快速简便,无需辅助工具或设备。
此外,螺纹目标夹和阳极屏蔽层形成了一个紧凑的圆形磁控管头。这使得 Angstrom Sciences 的圆形磁控管能够安装在密闭的真空室中,并且与传统磁控管相比,溅射出比其表面积更大的基板。
间接冷却磁控管推荐用于低功耗应用,是研究和开发应用的理想选择。

