美国Angstrom Sciences,Rotary Magnetron,旋转磁控管

旋转磁控管是圆形磁控管的变体，其中磁体组绕中心轴机械旋转。该实施例最初是为半导体应用开发的，允许以尽可能小的阴极直径对固定衬底进行均匀涂覆。该技术的其他应用包括：材料重新沉积在目标面上会在生长的薄膜中产生缺陷;在旋转磁控管中，整个靶面被一个在 20 到 600 RPM 之间旋转的磁铁组扫干净。

Angstrom Sciences 提供一系列直径为 4 英寸（100 毫米）至 16 英寸（406 毫米）的旋转磁控管，并采用可调节磁体配置设计，可实现工艺优化和均匀性增强。我们的磁控管可以安装在内部或外部配置中。