美国Angstrom Sciences,ONYX® 磁控管,线性磁控管Linear Magnetron
Angstrom Sciences， Inc. 成立于 1988 年，为高质量薄膜的等离子体气相沉积提供先进的磁控管和精制材料。该公司非常注重研发，很快就为磁性、水冷和圆形磁控管目标夹紧设计方面的多项技术进步申请了专利。Angstrom Advantage™ 的特点创造了薄膜行业中最先进、最易于使用的磁控管。
Linear Magnetron
专利优势
Angstrom Sciences 的线性磁控管采用我们完全封装的专利异形 NdFeB 稀土磁铁，将磁场扩展到整个靶材表面，提高靶材利用率并最大限度地减少靶材表面的颗粒污染。我们所有的磁控溅射阴极也具有湍流水流功能，以提供最佳的热传递，并最大限度地减少由于靶材表面的热点引起的不均匀性。这些特性与整体工艺气体入口、固体阳极壁和尖端材料的使用等功能一起，确保了溅射工艺无与伦比的性能和可靠性。
- 描述
随着越来越多的行业发现磁控溅射的速度、可控性和底线性能，Angstrom Sciences 正在开发工具，以最大限度地提高这些更大、更快的制造工艺的产量。
更广泛的解决方案
对于那些必须涂覆极宽基板或必须实现极高吞吐量的用户，线性磁控管提供了完美的在线解决方案。
总功率兼容性
低阻抗头提供 RF、DC、中频 DC、脉冲 DC、HiPIMS 和微波电源兼容性。
标准配件
我们可以使用 ISO NW 标准配件、Conflat® 金属密封法兰或定制的 O 形圈密封法兰进行安装。所有公用设施通常保持在大气中，并通过标准 O 形圈压缩接头进行接触，以便于安装在任何真空系统中。
久经考验的性能
这些磁控管提供无与伦比的性能，使 Angstrom Sciences 成为行业标准。
在极低的压力和极高的功率密度下运行，可在任何应用中为您提供均匀性、利用率和速率的完美平衡。
Going to any Length
Angstrom Sciences 线性阴极可提供从 1 英寸/25 毫米到 16 英寸/406 毫米的全系列靶材宽度，长度可达 185 英寸/4700 毫米。当然，我们完全有能力为您的任何生产需求设计和制造定制磁控管。
全面承诺
所有 Angstrom Sciences 的磁控管均享有整整两年的工艺和材料质量保证。磁控管是我们的核心业务，我们随时准备确保您满意。
