美国Angstrom Sciences,ONYX® 磁控管,圆磁控管,间接冷却磁控管
间接冷却磁控管
间接冷却磁控管在圆阴极的冷却水和溅射靶材之间包含一个中间壁。该壁形成永久的水真空密封,防止目标被“溅射”时可能发生的泄漏。
Angstrom Sciences 的 1“- 4” (25mm-100mm) 间接冷却圆形磁控管包含一个螺纹靶夹和阳极屏蔽罩,可根据不同厚度的溅射靶材进行调整。螺纹设计上的目标更改既快速又简单,不需要辅助工具或设备。
- 描述
此外,螺纹靶夹和阳极屏蔽层可形成一个紧凑的圆形磁控管头。这使得 Angstrom Sciences 的圆形磁控管能够安装在狭窄的真空室中,并且与传统磁控管的表面积相比,可以溅射更大的衬底。
间接冷却磁控管推荐用于低功率应用,是研究和开发应用的理想工具。
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