美国Angstrom Sciences,ONYX® 磁控管,圆磁控管,二极管磁控管Diode Magnetron
Angstrom Sciences， Inc. 成立于 1988 年，为高质量薄膜的等离子体气相沉积提供先进的磁控管和精制材料。该公司非常注重研发，很快就为磁性、水冷和圆形磁控管目标夹紧设计方面的多项技术进步申请了专利。Angstrom Advantage™ 的特点创造了薄膜行业中最先进、最易于使用的磁控管。
Diode Magnetron
在二极管溅射中，不使用磁铁，因此没有磁场来容纳等离子体。这意味着等离子体离子在整个真空系统中自由流动，并腐蚀了靶材的几乎整个表面积，从而提高了靶材的利用率。然而，这也意味着溅射薄膜颗粒可以自由地在整个腔室中移动，而不是直接移动到基板上。这可以显著增加您的加工时间，并且由于没有电子限制，基板将看到更多的热量。
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