美国Angstrom Sciences,ONYX® 磁控管,圆柱形磁控管
Angstrom Sciences， Inc. 成立于 1988 年，为高质量薄膜的等离子体气相沉积提供先进的磁控管和精制材料。该公司非常注重研发，很快就为磁性、水冷和圆形磁控管目标夹紧设计方面的多项技术进步申请了专利。Angstrom Advantage™ 的特点创造了薄膜行业中最先进、最易于使用的磁控管。
圆柱形磁控管
Angstrom Sciences 为几乎所有标准溅射工艺提供最先进的磁控管。但我们知道每个应用程序都是不同的。因此，我们开发了一种独特的模块化方法，专门适应您的规格。
长期以来，圆柱形磁控管在玻璃镀膜行业一直备受信赖，可在最大限度提高靶材利用率的同时形成均匀的薄膜。现在，Angstrom Sciences 创造了一种紧凑、轻便且经济的圆柱形磁控管，专门设计用于平板显示器、太阳能电池和卷筒纸涂层应用
- 描述
定制设计
使用直径为 3 英寸（75 毫米）或 5 英寸（125 毫米）的背管，可使用长达 4 米的直接安装和侧面安装的完整组件，并且具有最小的源到源间距，多个在线阵列可用于紧凑的高通量生产系统。
经济且完全兼容的投资
ONYX-Revolution™ 采用通用且经济高效的磁体设计，具有定制的周转功能，以适应任何目标类型。而且，它采用现成的组件设计，可实现低成本、长期投资和可靠性。
专利技术
Angstrom Sciences 的专利异形磁体技术在源和衬底之间创造了更接近正常的沉积轮廓。改进的沉积轮廓减少了腔室壁上的碎屑堆积。
此外，Angstrom Sciences 的磁体阵列提供更高的磁场强度，允许用户以较低的功率运行溅射工艺，以实现典型的沉积速率。
换算的储蓄
从本质上讲，圆柱形磁控管可以容纳高达三倍于具有相同空间面积的平面磁控管的目标材料。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 进一步优化了材料投资，目标利用率高达 85%。此外，在较低功率水平下运行可节省 20% 的典型功耗。
全面承诺
Angstrom Sciences 致力于通过提供世界上最先进的磁控管、高质量的沉积材料和全面的技术支持，帮助我们的客户开发最具生产力和成本效益的薄膜应用。我们随时准备确保您满意。
