美国Angstrom Sciences 高功率射频磁控管

高功率射频磁控溅射阴极可以在研发和生产应用中成功实施，前提是在结构中纳入了特定的设计标准。

圆形高功率射频磁控管直接冷却，外径为 2“-8”。

由于射频功率在高频下工作，因此磁控溅射阴极的设计必须能够控制该功率。Angstrom Sciences 的高功率射频磁控管 ae 旨在在整个目标表面均匀地提供射频能量，同时提供低反射功率和射频限制。
高功率射频磁控管有圆形和线性两种配置。

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