Angstrom Sciences 以我们为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉国际。现在，我们开发了一种使用我们获得专利的异形磁体设计改造您现有圆柱形磁控管的方法 – 将 Angstrom Advantage™ 引入您的工艺中。
经济的解决方案
圆柱形磁体改造提供了上述所有优势，而成本大约是更换现有圆柱形组件的三分之一。
智能设计
- 磁体完全封装在不锈钢>
- 高效水流
- 与所有现有目标设计兼容
- 无缝集成
- 可调均匀性
优化的磁性元件
- 先进的周转时间可产生更平坦的侵蚀剖面
- 改进的沉积剖面可减少腔室壁上的碎屑堆积
- 更高的场强度可在较低的功率水平下实现典型的沉积速率
经过验证的结果
- 目标利用率达到 85% 或更高，且没有增强周转率
- 吞吐量或节能 20%
- 2 年保修
全面承诺
Angstrom Sciences 致力于通过提供世界上最先进的磁控管、高质量的沉积材料和全面的技术支持，帮助我们的客户开发最具生产力和成本效益的薄膜应用。我们随时准备确保您满意。这就是为什么我们为所有磁控管提供 2 年保修，这是业内最长的保修。
有关圆柱形磁体改造的更多信息，请联系我们。
