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Angstrom Sciences 的圆形磁控管已成为溅射行业的公认标准，因为 Angstrom Advantage™ 和许多其他设计特点在配置和工艺性能方面提供了几乎无限的可能性。
多功能、紧凑的设计
其紧凑的设计使我们的圆形磁控管成为任何新应用或改造应用的理想选择，包括用于最小真空室的最复杂的集群组件。
总功率兼容性
低阻抗磁头提供 RF、DC、中频 DC、脉冲 DC、HiPIMS 和微波电源兼容性。
标准配件
我们使用 ISO NW 标准配件以及 Conflat® 金属密封法兰。所有公用设施都保持在大气中，并通过标准 O 形圈压缩接头进行访问，以便轻松安装在任何真空系统中。
全系列尺寸
圆形磁控管源的直径为 1 英寸（25 毫米）至 16 英寸（406 毫米）和更大的目标，采用标准或定制配置。
快速、轻松地更改目标
我们的专利螺纹靶夹和小圆阴极上的阳极屏蔽层允许您在不使用辅助工具的情况下更换靶标。其内置的可调节性还允许您安装不同厚度的目标，而无需使用任何间隔装置。
下限、压力、高功率
ONYX® 磁控管可以在极低的压力下运行（低至 10-4 Torr 范围），我们的直接冷却设计可提供高达 250 瓦/英寸（30 瓦/cm2）的功率密度连续运行。
高速率和高性能
凭借更高的功率密度，您可以更快地涂覆基材。因此，Angstrom Sciences 可以最大限度地提高您的包衣区域和目标利用率（通常在 40% 范围内），而无需权衡速率。
更高的均匀性
得益于我们获得专利的异形磁体，我们的磁控管还可以提供更高的沉积均匀性 – 通常在 1-3% 的±范围内。
低污染
由于磁场分布在整个靶面上，因此可以最大限度地减少颗粒污染和再沉积的缺陷。
全面承诺
所有 Angstrom Sciences 的磁控管均享有整整两年的工艺和材料质量保证。磁控管是我们的核心业务，我们随时准备确保您满意。
