美国Angstrom Sciences,圆柱形磁控管,为几乎任何标准溅射工艺提供最先进的磁控管,可以制造均匀的薄膜,同时最大限度地提高靶材利用率

美国Angstrom Sciences,圆柱形磁控管,为几乎任何标准溅射工艺提供最先进的磁控管,可以制造均匀的薄膜,同时最大限度地提高靶材利用率

圆柱形磁控管

Angstrom Sciences 为几乎任何标准溅射工艺提供最先进的磁控管。但我们知道每个应用程序都是不同的。这就是为什么我们开发了一种独特的模块化方法,专门适应您的规格。

长期以来,圆柱形磁控管在玻璃镀膜行业中一直受到信赖,可以制造均匀的薄膜,同时最大限度地提高靶材利用率。现在,Angstrom Sciences 创造了一种紧凑、轻便且经济的圆柱形磁控管,专门设计用于为平板显示器、太阳能电池和卷材涂层应用提供相同的优势。

定制设计

采用 3 英寸(75 毫米)或 5 英寸(125 毫米)的背管直径,长度可达 4 米,具有最小源到源间距的多个在线阵列,可提供插入式和侧面安装的完整组件,可用于紧凑型高通量生产系统。

经济且完全兼容的投资

ONYX-Revolution™ 采用通用且经济高效的磁铁设计,具有定制的周转功能,可适应任何目标类型。而且,它采用现成的组件设计,具有低成本、长期投资和可靠性。

专利技术

Angstrom Sciences 的专利异形磁体技术在源和基板之间创建了更接近正常的沉积曲线。改进的沉积剖面减少了腔室壁上的碎屑堆积。

此外,Angstrom Sciences的磁体阵列提供了更高的磁场强度,允许用户以较低的功率运行溅射过程,以达到典型的沉积速率。

圆柱形磁控管测试埃

折算节省

从本质上讲,圆柱形磁控管可以容纳的目标材料量是具有相同空间面积的平面磁控管的三倍。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 进一步优化了材料投资,目标利用率高达 85%。此外,在较低功率水平下运行可节省 20% 的典型功耗。

全面承诺

埃科学致力于通过提供世界上最先进的磁控管、高质量的沉积材料和全面的技术支持,帮助我们的客户开发最高效、最具成本效益的薄膜应用。我们随时准备确保您满意。


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