美国Angstrom Sciences圆形磁控管

美国Angstrom Sciences圆形磁控管：

Angstrom Sciences 的环形磁控管已被公认为溅射行业的标准，这是因为 Angstrom Advantage™ 和大量其他设计特性为配置和工艺性能提供了几乎无限的可能性。

总功率兼容性

低阻抗磁头提供 RF、DC、中频 DC、脉冲 DC、HiPIMS 和微波电源兼容性

标准配件

我们使用 ISO NW 标准配件以及 Conflat® 金属密封法兰。所有公用设施都保持在大气中，并通过标准 O 形圈压缩接头进行访问，以便轻松安装在任何真空系统中。

全系列尺寸

圆形磁控管源的直径为 1 英寸（25 毫米）至 16 英寸（406 毫米）和更大的目标，采用标准或定制配置。

快速、轻松地更改目标

我们的专利螺纹靶夹和小圆阴极上的阳极屏蔽层允许您在不使用辅助工具的情况下更换靶标。其内置的可调节性还允许您安装不同厚度的目标，而无需使用任何间隔装置。

高速率和高性能

凭借更高的功率密度，您可以更快地涂覆基材。因此，Angstrom Sciences 可以最大限度地提高您的包衣区域和目标利用率（通常在 40% 范围内），而无需权衡速率。