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 美国Angstrom Sciences间接冷却磁控管
间接冷却磁控管在环形阴极冷却水与溅射靶材之间设置了一道中间隔墙。这道隔墙形成了永久性的水-真空密封，可防止靶材在”溅射穿透”时可能发生的泄漏。

美国Angstrom Sciences的1英寸至4英寸（25毫米至100毫米）间接冷却环形磁控管采用螺纹靶材夹具和阳极屏蔽罩设计，可适配不同厚度的溅射靶材。该螺纹式结构使靶材更换快速简便，无需辅助工具或设备。

此外，螺纹靶材夹具与阳极屏蔽罩构成了紧凑的环形磁控管头设计。这一设计使得美国Angstrom Sciences的环形磁控管能够适配空间有限的真空腔室，并在相同表面积条件下，相较于传统磁控管能溅射更大面积的基材。

间接冷却磁控管适用于低功率应用场景，是研发类应用的理想选择。