专利优势

Angstrom Sciences 的线性磁控管采用了我们完全封装的专利异形钕铁硼稀土磁体，可将磁场扩散到整个目标表面，从而提高目标利用率并最大限度地减少目标表面的颗粒污染。我们所有的磁控溅射阴极也具有湍流水流功能，以提供最佳的热传递并最大限度地减少由于目标表面上的热点而导致的不均匀性。这些功能以及整体工艺气体入口、固体阳极壁和尖端材料的使用等功能可确保溅射工艺具有无与伦比的性能和可靠性。

随着越来越多的行业发现磁控溅射的速度、可控性和底线性能，埃科学正在开发工具，以最大限度地提高这些更大、更快的制造工艺的产量。

更大的解决方案

对于那些必须涂覆极宽基板或必须实现极高吞吐量的人来说，线性磁控管提供了完美的在线解决方案。

总功率兼容性

低阻抗头提供射频、直流、中频直流、脉冲直流、HiPIMS 和微波功率兼容性。

标准配件

我们可以使用 ISO NW 标准配件、Conflat® 金属密封法兰或定制 O 形圈密封法兰进行安装。所有公用设施通常都保持在大气中，并通过标准 O 形圈压缩接头进行访问，以便于安装在任何真空系统中。

久经考验的性能

这些磁控管提供无与伦比的性能，使埃科学成为行业标准。在极低的压力和极高的功率密度下运行，可在任何应用中实现均匀性、利用率和速率的完美平衡。

去任何长度

Angstrom Sciences 线性阴极提供从 1 英寸/25 毫米到 16 英寸/406 毫米的全系列目标宽度和长达 185 英寸/4700 毫米的长度。当然，我们完全有能力设计和制造定制磁控管，以满足您的任何生产需求。

全面承诺

所有 Angstrom Sciences 的磁控管均可保证在整整两年内不会出现工艺和材料缺陷。磁控管是我们的核心业务，我们随时准备确保您满意。