美国Angstrom Sciences,磁控溅射,ONYX-Φlux 控制器
Angstrom Sciences, Inc. 成立于 1988 年,为高质量薄膜的等离子体气相沉积提供先进的磁控管和精制材料。该公司非常注重研发,很快就为磁性、水冷和圆形磁控管目标夹紧设计方面的多项技术进步申请了专利。Angstrom Advantage™ 的特点创造了薄膜行业中最先进、最易于使用的磁控管。
Angstrom Sciences 以我们为磁控溅射应用带来的尖端技术而享誉国际。我们现在开发了一种控制靶材表面等离子体的方法。为平面和圆形磁控管开发的 ONYX-Φlux Control(磁通量控制)允许用户最大限度地提高均匀性或目标利用率。
控制均匀性
磁场在目标表面特定点的可编程停留时间。提供对电场和磁场交叉点的精确控制,以聚焦腐蚀剖面并调整均匀性。
控制材料利用率
以恒定速率将等离子体扫过目标表面。在厚度达 1.4 英寸(35 毫米)的平面目标上可实现高达 65% 的目标利用率,从而实现极长的运行时间。
用户友好的软件
- 直观的用户界面
- 三种用户模式 – 运行、编辑、手动
- 触摸屏技术
- 等离子体的输入位置和停留时间
全面承诺
Angstrom Sciences 致力于通过提供世界上最先进的磁控管、高质量的沉积材料和全面的技术支持,帮助我们的客户开发最具生产力和成本效益的薄膜应用。我们随时准备确保您满意。这就是为什么我们为所有磁控管提供 2 年保修,这是业内最长的保修。