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美国 Angstrom Engineering Nexdep 物理气相沉积平台

Nexdep 物理气相沉积平台

4 iterations of Nexdep, Angstrom Engineering's versatile workhorse physical vapor deposition evaporator. It can be outfitted any number of ways depending on your process requirements.

Nexdep PVD 平台兼顾了经济性和多功能性，配备性能强大，体积较小。

体积小、经济、功能齐全的 PVD 主力设备

2017 model of the Nexdep Physical vapor deposition pvd evaporator platform

Nexdep 物理气相沉积平台的底板尺寸为 400mm x 400mm，可容纳多达 6 个源和多种 PVD 工艺，并可实现超高真空 (UHV)。根据需求选择Nexdep PVD 平台的装备。

Electron Beam ebeam e-beam source in a Physical vapor deposition pvd vacuum chamber evaporator

沉积源选项

溅射
射频、直流、脉冲直流、HIPIMS 和反应式。可提供圆形、线形和圆柱形阴极。
热蒸发
可使用各种舟形、丝状和坩埚加热器。自动调整功能可确保精确的速率控制。
电子束蒸发
提供多种源功率和电源选项。通过 Aeres 软件平台控制带有配方存储功能的可编程扫频控制器。扭矩感应坩埚分度器可检测坩埚袋堵塞情况。Nexdep 室可容纳多个电子束源。
等离子和离子束处理
使用一系列离子源进行清洗和薄膜增强，包括辉光放电等离子清洗。

基底夹具增强

Physical vapor deposition substrate stage with a heating bulb

分级加热和冷却

A variable angle stage, sometimes called a glad, or glancing angle deposition stage, in an Angstrom Engineering physical vapor deposition PVD vacuum chamber.

可变角度载物台

A roll to roll flexible substrate stage in an Angstrom Engineering physical vapor deposition PVD vacuum chamber.

辊对辊涂层

A roll to roll flexible substrate stage in an Angstrom Engineering physical vapor deposition PVD vacuum chamber.

遮光快门

A roll to roll flexible substrate stage in an Angstrom Engineering physical vapor deposition PVD vacuum chamber.

行星和圆顶夹具

A roll to roll flexible substrate stage in an Angstrom Engineering physical vapor deposition PVD vacuum chamber.

基底偏压


Angstrom Engineering COVAP Nexdep 气相沉积 物理气相沉积平台

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