EVOVAC 物理气相沉积平台
EvoVac PVD 平台可满足多种需求。它有一个大型腔室，可以配备所需的任何源或工艺增强装置。EvoVac 物理气相沉积平台是Angstrom Engineering可定制化程度最高的单室平台，可以配备特定应用所需的工具，也可以成为多功能的多源沉积主力，用于满足实验室中的各种需求。
EvoVac 物理气相沉积平台的底板尺寸为 500mm x 700mm，可容纳多达 14 个源和多种 PVD 工艺，并可实现超高真空 (UHV)。根据研究目标、生产需求和/或应用最终目标决定EvoVac装备。
沉积源选项
溅射
射频、直流、脉冲直流、HIPIMS 和反应式。可提供圆形、线形和圆柱形阴极。
热蒸发
可使用各种舟形、丝状和坩埚加热器。自动调整功能可确保精确的速率控制。
电子束蒸发
提供多种源功率和电源选项。通过 Aeres 软件平台控制带有配方存储功能的可编程扫频控制器。扭矩感应坩埚分度器可检测坩埚袋堵塞情况。Nexdep 室可容纳多个电子束源。
等离子和离子束处理
使用一系列离子源进行清洗和薄膜增强，包括辉光放电等离子清洗。
